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济宁无尘车间为什么要控制温度和湿度

来源:http://jining.qdjyjh.cn/news763677.html  时间:2022-2-13 3:00:00

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       无尘车间为什么要控制温度和湿度?首要功能和具体措施是什么?

       无尘车间的温度和湿度首要根据您的加工工艺要求确认。在满足加工工艺的条件下,首先要考虑人的舒适性。跟着对空气洁净度要求的提高,工艺对温度和湿度的要求越来越高,有必要达到必定的温度和湿度水平。例如,在大规模集成电路出产的光刻曝光过程中,要求作为掩模资料的玻璃和硅片的热膨胀系数之差越来越小。当直径为100μm的硅片的温度上升1度时,它会导致0.24μm的线性膨胀,因而它有必要具有±0.1度的稳定温度。同时,湿度值一般较低,因为人们出汗后会污染产品,特别是在怕钠的半导体车间,这个车间的温度不应超越25度。高湿度会导致更多问题。当相对湿度超越55%时,冷却水管壁上会构成冷凝水。假如发生在精密器件或电路中,会引起各种事故。相对湿度为50%时易生锈。
       然而,关于大多数洁净空间,为了防止外部污染的侵入,有必要坚持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的保护一般应遵循以下原则:
       1.高清洁度空间的压力应高于相邻低清洁度空间的压力。
       2.洁净室之间的门应翻开至洁净度高的房间。
       3洁净空间的压力应高于非洁净空间的压力。
       压差的保持取决于新风量,新风量可补偿此压差下空隙的空气走漏。因而,压差的物理含义是走漏(或浸透)气流通过洁净室各种缝隙的阻力。
       关于紊流洁净室,首要选用换气次数的概念,而不是速度的概念,因为它首要依托稀释空气来降低室内污染程度。可是,室内气流速度也要求如下:;
       1、送风口出口风速不宜过大。与简略的空调房间比较,它要求衰减更快,扩散角更大。
       2.水平面上吹出的气流速度(如侧进料时的回流速度)不宜太大,避免将表面颗粒吹回气流形成二次污染。一般来说,该速度不应太干0.2m/s。
       在中国,空气净化技术措施和洁净厂房设计规范就是这样规定的
       垂直平行流(层流)洁净室≥ 0.25m/s
       水平平行流(层流)洁净室≥ 0.35米/秒

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